最新动态
 
当前位置:首页 > 产品展示 > 磁控溅射镀膜机 > 电子束、磁控、Parylene真空涂敷复合设备 返回上一页
  

电子束、磁控、Parylene真空涂敷复合设备


  该设备是我们为成都电子科技大学生产的设备。设备由电子束、磁控、Parylene真空涂敷、基片换片室四部分构成。设备各部份功能如下:
1. 电子束蒸发:用电子束成膜方法制备薄膜
2. 磁控溅射:用磁控溅射方法制备薄膜,有五个磁控源,一个离子源
3. Parylene真空涂敷:将ParyLene置于特定的真空涂敷设备内经蒸发、高溫裂解、在元件表面重新形成0.1-100微米连续不间断的薄膜涂层。该涂层厚度均匀,致密无针孔、透明无应力、电绝缘性和防护性能优异,是当今最有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
4. 基片和掩膜换片室:作为上述三个真空室体相互连接的
部分,基片可在真空条件下多次换掩膜完成镀多层薄膜。
5.设备平面布置简图:


点击数:5073 录入时间:2008-9-17 【打印此页】 
版权所有 成都现代南光真空设备有限公司  蜀ICP备05024978号
地址:中国成都新都工业开发区新力路72号 电话:028-83932616(周经理) 13808097235(庄经理) 传真:(028)83965989 邮编:610500