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  磁控溅射镀膜机按照真空室的形式分为钟罩和箱式两种,真空系统由分子泵或低温冷泵组成,能快速获得基本无油或完全无油的真空环境,主要用于溅射金属和非金属材料,溅射所得到的膜层具有附着力、致密性、重复性好等优点,该设备广泛用于微电子、精密光学元件、新材料研究等领域。


点击数:3016 录入时间:2009-8-25 【打印此页】 
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